電容式微量水分儀的優(yōu)點(diǎn)是：

體積小、測(cè)量范圍大、響應(yīng)迅速，樣品的溫度和壓力的變化對(duì)測(cè)量的度影響不大。 它不但可以測(cè)量氣體中的微量水分，也可以測(cè)量液體中的微量水分。

電容式微量水分儀的缺點(diǎn)是：

當(dāng)被測(cè)介質(zhì)含水量很低時(shí)，其誤差較小，當(dāng)含水量較高時(shí)，其誤差增大，隨著介質(zhì)含水量的逐漸增大，誤差越來(lái)越大。另外，還存在耗氣量大，探頭需要經(jīng)常校準(zhǔn)的缺點(diǎn)。 氧化鋁探頭的濕敏性能會(huì)隨著時(shí)間的推移逐漸下降，這種現(xiàn)象稱(chēng)之為“老化”，目前解決“老 化”問(wèn)題的*辦法是定期校準(zhǔn)，一般是一年左右校準(zhǔn)一次，有時(shí)需半年甚至3個(gè)月校準(zhǔn)一次。